应用范围:这款小型PECVD,其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
上架时间 :2019-07-05
安装尺寸:等离子源: 8.5" H x 10" W x 8" D
温控盒: 4"H x 10"W x 8"D
移动架:600 x 600 x 600mm
重量:70 lb (包含真空泵)
这款小型PECVD,其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
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