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TF-1200X-4-C4LVS 1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统

应用范围:OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。 

产品型号 :OTF-1200X-4-C4LVS 

上架时间 :2019-07-05 

安装尺寸:炉体: 550 x 380 x 520 

                 移动架: 600x600x597 

重量:300 lb

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       TF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

 性能指标和基本配置
炉体结构

● 高纯 Al2O3保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性.
● 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。
● 炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.
● 密封法兰系统全不锈钢制作。

电源

电源:208-240VAC,  50/60Hz, 单相,  2.5KW ( 20A 保险丝)

加热温度

● 最高温度: 1100°C
● 连续温度: 1000°C

加热区

加热区长度: 440mm

加热和冷却速度

最快的加热和冷却速度跟工作温度有关,  请点击下图可以看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。
( 在使用炉子之前,要校准工作温度和加热、冷却速度 )
1

石英管

● 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm
● 内管:OD80 x ID 75 x 1800 mm

真空法兰

● 一对 SS304不锈钢法兰,通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。
● 炉子底部装有一对滑轨
● 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。
● 为了得到较快的加热速度,可以先将炉子预热,然后滑到放置样品的位置。
● 为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端,同时将冷却气体通入样品所在的位置。
1
极限真空度: 10^-2 torr (机械泵) ,10^-5 torr (分子泵)
可选:亚洲城游戏进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
1

温控仪

● 温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。
● 控温精度: +/-1°C

混气系统

4路精密质子流量计:
● 数字显示、气体流量自动控制.
● MFC 1范围:  0~100 sccm
● MFC 2范围:  0~200 sccm
● MFC 3范围:  0~200 sccm
● MFC 4范围:  0~500 sccm
● 气路: 4 路
● 流量精度: 0.2%
● 进气和出气接口: 1/4" 卡套
● 一个混气罐.
● 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。
● 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量.
1

真空泵

● 安装在移动架底部的机械泵,真空度达 10-3 Torr.
● 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .
● 数字真空表安装在一端的法兰上..
选择: 可以配分子泵,真空度达 10-5 Torr .

作为基片用的25um厚的铜箔  (选配)

生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
1

尺寸(mm)

● 炉体: 550 x 380 x 520
● 移动架: 600x600x597

净重

300 lb

应用注意事项 ● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在亚洲城游戏选购减压阀,亚洲城游戏减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
质量认证

● CE认证
● 所有电器元件(≧24V)都通过了UL/MET/CSA认证
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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