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ALD-GSL-4 2通道ALD控制单元

应用范围:ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统,包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送,可与亚洲城游戏任意管式炉或腔体进行DIY,组建一套ALD系统,用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。 

产品型号 :ALD-GSL-4 

上架时间 :2019-07-09 

安装尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统,包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送,可与亚洲城游戏任意管式炉或腔体进行DIY,组建一套ALD系统,用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。

 性能指标和基本配置
工作电压&功率

AC220V 单相 50/60Hz  100W

PLC触摸屏

● 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制
● 可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数(毫秒级)
● 可控制4通道的气体流量(4通道质子流量计,精度±0.2%F.S)
● 真空压力显示
● 请点击图片查看控制界面
● RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上,进行远程控制
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ALD进气阀

● 对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中)
● 客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购亚洲城游戏ALD阀
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流量控制

● 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合
流量范围:
● 一路: 0~100 SCCM
● 二路: 1~199 SCCM
● 三路: 1~199 SCCM
● 四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
● 工作温度:5~45ºC  耐压:3MPa
● 精度: ±1.5% FS  线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
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通气管道

● 内置不锈钢混气罐
● 内部连接管道为1/4”不锈钢管
● 外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀   Φ1/4” 不锈钢管

尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

可选配件

● 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入,点击下图查看详情
● 客户可另外付费由亚洲城游戏对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装
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质量认证

CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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