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ZF-MFC-1C 质量流量控制器

应用范围：ZZF-MFC-1C是一款防腐型单路气体质子流量控制器，结构小巧，操作方便，可用于气体流量的精确测量和控制，流量范围0~100，200，300，500SCCM可选，可与亚洲城游戏管式炉、CVD系统、熔炼铸造炉、镀膜设备等配套使用，直接数字设定流量，稳定可靠，操作方便。

产品型号：ZF-MFC-1C

上架时间：2019-07-09

安装尺寸：168mm L*30mm W*132mm H

重量：0.92kg

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ZF-MFC-1C是一款防腐型单路气体质子流量控制器，结构小巧，操作方便，可用于气体流量的精确测量和控制，流量范围0~100，200，300，500SCCM可选，可与亚洲城游戏管式炉、CVD系统、熔炼铸造炉、镀膜设备等配套使用，直接数字设定流量，稳定可靠，操作方便。

性能指标和基本配置
产品特点	● 防腐型单路气体质子流量控制器，结构小巧 ● DC15V电压驱动 ● 流量数显设定显示，稳定可靠，操作方便 ● 流量范围：0~100,200,300,500SCCM可选 ● 配备RS485计算机接口，同时可输出4~20mA信号，用于计算机与远程仪表的连接控制 ● 标配N2气标定
工作电源	● AC220V，50/60Hz，7.5W ● 配备AC220V转DC15V电源适配器
流量范围	0~100,200,300,500SCCM四种规格可选，特殊规格可定制
材质	316不锈钢阀体，耐腐蚀
准确度	±2%FS
控制精度	±1%FS（恒流）
线性	±2%FS
工作压差范围	0.1~0.5MPa
最大工作压力	0.5MPa
设定流量方式	键入式
进出口阀门	Φ6.35mm卡套式接头
工作环境温度	-10~50℃
产品尺寸	168mm L30mm W132mm H
产品重量	0.92kg
使用注意事项	● ZF-MFC-1C可用于腐蚀性气体的流量测量与控制，如NH3等 ● 出厂时采用氮气（N2）标定，如通入其他气体时，需要对照说明书中不同气体流量转换系数表进行流量换算 ● 注意工作压差，使用时进出气两端工作压差在0.15~0.5MPa范围内
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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