实验设备

● 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温
● 最大升温速率为10℃/s
● 最高温度可达800℃
● 两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制
● 顶部载样台可旋转

AC 220V, 50/60Hz （需要50A的空气开关）

● 空法兰为316不锈钢制作
● 顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）：
   机械压力表
   KF16接口，可以安装防腐真空计
   两个不锈钢精密针阀用于气体的进出
● 底部法兰：
   KF25接口，可以与真空泵相连接
   法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封：
   真空度：20Pa（机械泵）
   真空度：10-1Pa（分子泵）

● 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部
● 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制）
● 顶部载样台转速可调（触摸屏控制）
● 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）
● 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性
● 注：可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台用来盛放蒸发原料，提高温度均匀性

● 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序
● 每个温控系统都带有超温和断偶保护
● PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

● 最高工作温度为：800℃
● 两个加热区之间的最大温差为300℃

● 建议加热速率≤ 10ºC/s（每个温区单独加热）
● 冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC)

两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触

● 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（58L/min)
● 实验时需要一个真空泵，可与亚洲城游戏选购真空泵
● 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵
● 可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

790mm × 600mm × 1100mm