900℃带3路浮子混气RTP管式炉 - 亚洲城游戏(中国)有限公司

RTP-1000-LV3C 900℃带3路浮子混气RTP管式炉

应用范围：RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵（真空度达 10-3 torr ）。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达 3" ）退火而设计。这款设备是采用 9KW的红外灯加热，最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。

产品型号：RTP-1000-LV3C

上架时间：2019-07-18

安装尺寸：600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)

重量：210 lbs

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RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵（真空度达 10-3 torr ）。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达 3" ）退火而设计。这款设备是采用 9KW的红外灯加热，最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。

性能指标和基本配置
关于RTP 炉子	● 炉体结构: 双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷, ● 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 ● 加热元件: 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm) ● 加热区: 4"X12" length （ +/-5oC ） ● 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length ● 真空法兰: 不锈钢制作，带有水冷接口和针阀，双层高温”O“型圈密封。长时间在 > 900oC 条件下运行必须采用水冷 ● 循环水流量: 0.5 m3 /hr ● 温控仪: 通过可控硅（SCR) PID 自动控制 ● 带自整定功能的30 程序精确控制 ● 具有过热保护和断偶保护功能 ● 控温精度: +/- 0.5oC ● RS485 接口可与电脑连接 ● 包含软件(要求Window XP/7 系统) ● 最快升温速度: 室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec ● 工作温度: 最高1100oC ● 功率: 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险) ● 尺寸: 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) ● 重量: 45 kg (100 lbs)
结构图	可滑动的石英样品架, 最大可放 3" 基片炉子可以以 100 oC/S升温到1000 oC, 打开上盖可快速降温滑动法兰使得装载样品很容易
可选	亚洲城游戏进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
关于真空泵和气体流量计	● 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min ，精度4% FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。 ● 高速真空泵2TW-4C-220v （真空度可达f 10-2 torr）. 通过橡胶管与RTP炉子相连. ● 4个不锈钢针阀（移动架的侧面）分别控制3路进气和一路混合气。 ● 4个压力表（移动架的正面）分别显示每路气体和混气的压力。
外形尺寸	600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
重量	210 lbs
国家专利	一种快速高温退火炉；专利编号：ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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