真空旋转涂膜机

VTC-100PA 真空旋转涂膜机

应用范围：VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

产品型号：VTC-100PA

上架时间：2019-08-30

安装尺寸：450mm×280mm×340mm

重量：20kg

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VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

性能指标和基本配置
主要特点	● 真空吸附方式固定样件，操作简便。 ● 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。 ● 根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。 ● 设有12组程序，每组包含6个运行阶段。 ● 电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。 ● 50W/24V 直流电机 ● 适于在Ar气环境中工作（真空泵放置在手套箱外）
参数	● 电机功率：50W/24V ● 速度范围：500-10000rpm ● 程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段 ● 增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s ● 时间范围：0-60s ● 吸盘：Φ19mm、Φ60mm
进气口	上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体，实现在气氛环境下旋转涂覆
可选加热部分	上盖内部增加红外灯管加热，采用K型热偶测温，数字温控器控温，最高120℃，可使得样品涂覆后原位烘干，用于薄膜太阳能电池等研究。
产品尺寸	450mm×280mm×340mm；
重量	20kg
标准配件	1	真空吸盘（含O型圈）	2个
	2	中心定位器（含4个定位柱）	1个
	3	滴胶注射器（20ml）	1个
	4	注射器支架	1个
	5	AP-1400V无油真空泵	1台
	6	橡胶管（含卡箍）	1根
可选配件	过滤器（真空泵用）
保修期	一年保修，终身技术支持。

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