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EQ-TM106 膜厚监测仪

应用范围:EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBEOLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

产品型号 :EQ-TM106

上架时间 :2019-09-02

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       EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

 性能指标和基本配置
主要特点

● 本机可与计算机连接。
● 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM
● 控制输出的百分比等工作状态。
● 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。
● 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

EQ-TM106-1监测组件

● 电源:DC   5V(±10%),最大电流400mA
● 频率分辨率:±0.03Hz
● 膜厚分辨率:0.0136Å(铝)
● 膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度
● 测量速度:100ms-1s/次,可设置
● 测量范围:500000Å(铝)
● 标准传感器晶体:6MHz
● 计算机接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8,停止位:1,校验:无)
● 模拟输出:8比特分辨率,PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出)
● 工作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
● 外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示仪

● 输入电源:AC 220V±10%
● 输出电源:DC   5V  3A
● 显示器:12×2数码管与LED
● 通讯端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8位,停止位:1位  ,奇偶校验:无)
● 外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探头

● 适用晶片频率:6MHz
● 适用晶片尺寸:Φ14mm
● 安装法兰:CF35
● 冷却水管:Φ3mm,长度300mm、500mm、1000mm
● 冷却水压:<0.3MPa
● 气动挡板路管:Φ3mm
● 压缩空气压力:
● 烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃
● 电气接口:BCN插座

标准配件

1EQ-TM106-1监测组件1个2EQ-TM106-2显示仪1台3EQ-TM106-3探头1个

保修期 一年保修,终身技术支持。

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