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GSL-1100X-PJF-A 可自动扫描等离子表面处理仪

应用范围:GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

产品型号 :GSL-1100X-PJF-A

上架时间 :2019-09-04

安装尺寸:处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H

 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H

 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

重量:55kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

 性能指标和基本配置
主要参数

● 工作环境:温度 < 42°C,湿度 ≤ 40℃RH
● 输入电源:208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
● 等离子体工作压力

RF发生器

● 输出频率:20-23kHz , 25KV
● 等离子枪头:仪器中包括两种等离子枪头:圆形头:10-12mm,矩形头:15-18mm
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输入气体气压,工作气体

● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
● Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

样品台和控制柜

● 配有可在X-Y轴移动的样品台,通过步进电机驱动,采用SBC控制盒控制
● 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离
● 控制盒采用LCD显示,可设置其等离子枪头的扫描程序。
● 最大扫描范围:8" x 9"
● 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上,可吸住直径为6"的样品。
● 配有一真空泵,可与真空吸盘相连接
● 整个系统安装在一移动架上(600x600x 800Lmm)
● 可选:可选加热样品台(最高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。
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外形尺寸

处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

净重

55kg

文献

请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息:

质量认证

所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,亚洲城游戏保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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