OTF-1200X-4-RTP-130 快速升温炉
应用范围:OTF-1200X-4-RTP-130 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有Φ130mm石英管和不锈钢密封法兰,它是专为氧化物、半导体或太阳能电池基片(最大达4英寸)的快速退火而设计,采用红外灯管加热最快升温速度为50℃/秒,精度为+/-1°C。
产品型号:OTF-1200X-4-RTP-130
上架时间:2021-09-10
安装尺寸:L1100mm x W700mm x H660mm
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OTF-1200X-4-RTP-130 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有Φ130mm石英管和不锈钢密封法兰,它是专为氧化物、半导体或太阳能电池基片(最大达4英寸)的快速退火而设计,采用红外灯管加热最快升温速度为50℃/秒,精度为+/-1°C。
技术参数
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名称型号 |
快速升温炉OTF-1200X-4-RTP-130 |
产品特点 |
红外加热,最快升温速率50℃/S 最大4英寸基片都可以放入退火 法兰安装在滑轨可以直接推拉,实现快速降温。 可以选配压缩波纹管在气氛环境下冷却
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加热炉系统 |
输入电源 AC 380V 50HZ,最大功率:24KW 最高工作温度:900℃(<30min),长期工作温度:800℃ 控温热电偶:进口K型热电偶,紧贴在放样品ALN片下(ALN片为标配,可按照客户要求定制不同材质基片) 加热元件:红外灯管12根短波红外灯管,每根2KW加热区尺寸:Ф210mm*320mm 室温至900℃:建议升温速率10℃/s最大升温速率50℃/s降温速率:800℃-350℃降温速率55℃/min 350℃-200℃降温速率5℃/min(在一个大气压下,样品架在炉子内) 降温速率:800℃-350℃降温速率200℃/min 350℃-50℃降温速率35℃/min(在一个大气压下,样品架拉到炉体外)标配浮子流量计:16-160ml/min 石英管外径130mmx内径120mmx600mmL包含一款808P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃) PID自动控温系统智能化30段可编程控制 控温精度:±1℃默认DB9PC通信连接端口 |
不锈钢密封法兰系统 |
水冷密封法兰,密封法兰和腔体法兰之间采用硅胶O型圈密封方式。 左端法兰装有机械压力表和进气截止阀,左边炉体上留有进气口,进气时,气体通过浮子流量计后进入法兰进气口,然后进入炉管内。 左端法兰内侧有石英制隔热挡板。 右端法兰上装有出气截止阀,一个KF25接口用于抽真空,一个1/4英寸双卡套接头用于插入热电偶。右端法兰内侧有石英制隔热挡板和样品支架,热电偶测温点位于样品正下方。 右端法兰安装在滑轨上可以直接推拉,实现快速退火。
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水冷机(选配) |
型号:KJ-5000 工作电压:AC 220V 50HZ 工作电流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h 压缩机功率:300W,水箱容量:6L 最大流量:16L/min,净重:24Kg |
真空系统(选配) |
配套机械泵,真空度可以达到10-2ttor 配套分子泵,真空度可以达到10-5ttor
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产品尺寸 |
外形尺寸:1100*700*660mm(长*宽*高 法兰关闭) 外形尺寸:1400*700*660mm(长*宽*高 法兰打开) 外形尺寸:1100*700*950mm(长*宽*高 炉子打开,法兰打开) |
重量 |
约100kg |
保质期 |
1年(不包含炉管,氟胶O型圈和加热元件等损耗件) |
使用注意事项 |
石英管内气压不可高于0.02MPa; 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在亚洲城游戏选购减压阀,亚洲城游戏减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全; 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,亚洲城游戏概不负责。 |
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